網帶式燒結爐如何設計燒結曲線和爐溫均勻性
日期：2018-10-16 8:57:09 作者： 流量：
燒結是低溫共燒陶瓷（LTCC）中生產工藝流程中重要的環(huán)節(jié)，它是將經過層壓的多層基板模板放入燒結爐中，進行排膠和燒結成型。排膠不充分燒結后基板會起泡、變形或分層。排膠過量可能會使金屬化層脫落或基板碎裂。低溫共燒技術的關鍵是燒結曲線和爐膛溫度的均勻性。燒結時升溫速度過快，會導致基板的平整度差和收縮率大。爐膛溫度均勻性差，燒結后基板收縮率的一致性也很差。
LTCC低溫共燒陶瓷基片對溫度均勻性以及燒結曲線有著較高的要求，排膠段需向爐內通入氣體來輔助排膠，如果通入的氣體與爐溫相差過大，比將影響到爐內溫度，我們可將輔助排膠氣體加熱到與爐溫一致后經過較短的保溫管道通入爐內，使進入爐溫的氣體不對爐溫產生沖擊。
同樣燒結曲線對基片的燒成質量有很大的影響，一般的溫度控制僅僅是依靠布置在加熱器附近的溫度傳感器來控制的，而對于待燒基片位置的溫度卻不能夠如實的反應。這樣一來，燒結曲線就不是基片所處的真實溫度過程，對燒結工藝帶來不確定性。為了使其一致，可以將串級控溫引進到燒結爐中，通過加熱器附近和基片附近的兩組熱偶串接共同控制爐溫。
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